北航研发磁性芯片高精度检测设备将投入商用

我国科学家在磁性芯片高精度检测领域取得新突破。北京航空航天大学集成电路学院科研人员在 5 个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“100 年”、“中国芯”几个字。据新华网报道,磁性芯片可作为高可靠的信息存储模块和高灵敏的磁信号传感模块,应用于飞机、卫星的控制系统,以及手机电子罗盘、汽车自动驾驶等领域。

磁性芯片生产过程中,需将纳米磁性薄膜均匀铺在晶圆(制作硅半导体集成电路所用的衬底)上。难点在于薄膜的平整度,“相当于在北京的海淀区地面上均匀铺满 5 层厚的小米粒,且须完全平整”。在磁性芯片生产过程中的磁性薄膜检测这一关键技术。

北航集成电路学院工艺与装备系教师张学莹表示,利用团队研发的晶圆级磁光克尔测试仪,通过微小的磁性针尖在薄膜上写字,若字的颜色对比度一致、字迹清晰,则表明薄膜有良好的均匀性。完成平整度检测后,将纳米薄膜制成器件,封装后形成芯片。

北航集成电路学院工艺与装备系主任王新河表示,对比国外同类设备,这台仪器在测试精度和速度等方面进行了技术革新,实现了自主创新突破。目前该仪器现已应用于科研领域,且预计于今年 10 月在产业领域投入商用。这台晶圆级磁光克尔测试仪,将为具有百亿元市场规模的磁性芯片产业提供设备支撑。(校对/nanana)

本文链接

发表评论

您的电子邮箱地址不会被公开。 必填项已用*标注